Catégorie : Ressources

Deux bases de données sur l’ALD et l’ALE, recensant les différents procédés de manière non exhaustive. Classement par éléments. ALD database ALE database Base de données avec un focus PE-ALD www.plasma-ald.com

Une liste, non exhaustive, de sites et blogs en rapport avec l’ALD : Atomic limits BALD Engineering Plasma ALD Atomic Layer Deposition

Voici un site éducatif donnant accès à des cours sur l’ALD sur le site de l’université finlandaise de Aalto, uniquement en langue anglaise ou en finnois pour les plus érudits. Open Learning  

Techniques de l’ingénieur portant sur les principes et applications de la technique ALD (écrit par le GDR, la version papier peut être obtenue sur demande à la direction). Techniques de l’Ingénieur ALD

Le GDR RAFALD a acquis début 2019 un spectromètre OES (Optical Emission Spectroscopy). L’OES est une technique de caractérisation non destructive permettant l’analyse d’un système par le biais de sa signature optique. Cet équipement peut être utilisé lors de l’analyse des espèces présentes dans le plasma des réacteurs PE-ALD, pour …