Blogs

Une liste, non exhaustive, de blogs en rapport avec l’ALD : Atomic limits BALD Engineering Plasma ALD  

Cours sur l’ALD

Voici un site éducatif donnant accès à des cours sur l’ALD sur le site de l’université finlandaise de Aalto, uniquement en langue anglaise ou en finnois pour les plus érudit. Open Learning  

Databases

Deux bases de données sur l’ALD et l’ALE, recensant les différents procédés de manière non exhaustive. Classement est effectué par éléments. ALD database ALE database   Base de données avec un focus PE-ALD www.plasma-ald.com

Prêt Spectromètre OES

Le GDR RAFALD a acquis début 2019 un spectromètre OES (Optical Emission Spectroscopy). L’OES est une technique de caractérisation non destructive permettant l’analyse d’un système par le biais de sa signature optique. Cet équipement peut être utilisé lors de l’analyse des espèces présentes dans le plasma des réacteurs PE-ALD, pour …