Institut de recherches sur la catalyse et l’environnement CNRS, Université Claude Bernard – Lyon 1 Villeurbanne Site web Précurseurs Croissance, instrumentation in-situ Molecular Layer Deposition Sulfures Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Réacteur « home-made »
NIMBE – LEDNA CEA, CNRS Saclay Site web collaboration avec différents laboratoires équipés en ALD Oxydes Films métalliques Nitrures Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Je ne possède pas de réacteur
Commisariat à l’énergie nucléaire et alternative CEA Grenoble Site web Thermal ALD Oxydes Nitrures Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) ASM Microchemistry Picosun Veeco/Cambridge Nanotech
Laboratoire d’électronique et de technologie de l’information CEA Grenoble Site web Thermal ALD PE-ALD Croissance, instrumentation in-situ Oxydes Films métalliques Sulfures Nitrures Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Santé ASM Microchemistry Beneq Picosun Veeco/Cambridge Nanotech
Institut d’Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie CNRS, université de Lille, UPHF, Junia, Centrale Lille Institut Villeneuve d’Ascq Site web Thermal ALD PE-ALD Oxydes Films métalliques Nitrures Composés lithiés Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Picosun
Institut FEMTO-ST CNRS, UBFC Besançon Site web Croissance, instrumentation in-situ Oxydes Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Annealsys
Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne CNRS / Université Bourgogne Franche-Comté 9 Avenue Alain Savary BP 47870, 21078 Dijon Site web Thermal ALD Oxydes Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Environnement (traitement de l’eau, de l’air, ..) Annealsys
Service d’Etude du Comportement en Corrosion des Matériaux dans leur Environnement CEA Saclay Site web Thermal ALD Oxydes Films métalliques Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Beneq
Groupe de Recherche sur l’Energétique des Milieux Ionisés Université d’Orléans, CNRS Orléans Site web Atomic Layer Etching Oxydes Nitrures Si, GaN, AlGaN(il est question d’ALE pour ces réponses) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Réacteur d’ALE (Oxford Instruments)
Nom du laboratoire UGA, CNRS, Grenoble-INP, USMB Grenoble, campus Minatec Site web Caractérisation Oxydes Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Je ne possède pas de réacteur
