IEMN
Institut d'Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie
CNRS, université de Lille, UPHF, Junia, Centrale Lille Institut
Villeneuve d'Ascq
Activités
- Thermal ALD
- PE-ALD
Famille de matériaux
- Oxydes
- Films métalliques
- Nitrures
- Composés lithiés
Applications
- Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..)
- Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
Réacteur(s) ALD
- Picosun
Publication n°1
" Three-Dimensional LiMn2O4 thin film deposited by ALD: a road towards high capacity electrode for 3D Li-ion micro-batteries "
DOI : 10.1002/smll.202107054
Publication n°2
" Atomic Layer Deposition of nanometer-thick Li3PO4 protective layer on LiNi0.5Mn1.5O4 films: dream or reality for long term cycling? "
DOI : 10.1021/acsami.0c21961
Publication n°3
" Fast X-ray nanotomography with sub-10 nm resolution as a powerful imaging tool for nanotechnology and energy storage applications "
DOI : 10.1002/adma.202008653
Personnes impliquées
- LETHIEN Christophe
- ROCH-JEUNE Isabelle
- CRIVELLO Chiara