FEMTO-ST

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FEMTO-ST

Institut FEMTO-ST

CNRS, UBFC

Besançon

Site web

Activités

  • Croissance, instrumentation in-situ

Famille de matériaux

  • Oxydes

Applications

  • Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)

Réacteur(s) ALD

  • Annealsys

Personnes impliquées

  • BARTASYTE Ausrine