FEMTO-ST 23 mars 2022 30 mars 2022 FEMTO-ST Institut FEMTO-ST CNRS, UBFC Besançon Site web Activités Croissance, instrumentation in-situ Famille de matériaux Oxydes Applications Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...) Réacteur(s) ALD Annealsys Personnes impliquées BARTASYTE Ausrine