DACM
Activités
- Thermal ALD
- Croissance, instrumentation in-situ
Famille de matériaux
- Oxydes
- Films métalliques
- Nitrures
Applications
- Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..)
- Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
Réacteur(s) ALD
- Réacteur "home-made"
Personnes impliquées
-
- PROSLIER Thomas