CEA
Activités
- Thermal ALD
Famille de matériaux
- Oxydes
- Nitrures
Applications
- Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
Réacteur(s) ALD
- ASM Microchemistry
- Picosun
- Veeco/Cambridge Nanotech
Personnes impliquées
- LEFEVRE Aude