CEA-LETI
Activités
- Thermal ALD
- PE-ALD
- Croissance, instrumentation in-situ
Famille de matériaux
- Oxydes
- Films métalliques
- Sulfures
- Nitrures
Applications
- Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..)
- Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
- Santé
Réacteur(s) ALD
- ASM Microchemistry
- Beneq
- Picosun
- Veeco/Cambridge Nanotech
Personnes impliquées
- GASSILOUD Rémy
- BEDJAOUI M