LIDC2
Laboratoire d’intégration et de développement des cavités et des cryomodules
Gouvernementales
CEA PARIS-SACLAY - Etablissement de Saclay - 91191 Gif-sur-Yvette
Activités
- Croissance
Famille de matériaux
- Métaux
- Nitrures
- Oxydes
Applications
- Énergie
- Supraconductivité
Réacteur(s) ALD
- Réacteur maison
Publication n°1
" Charge Berezinskii-Kosterlitz-Thouless transition in superconducting NbTiN films "
Publication n°2
" “A modular reactor design for in situ synchrotron X-ray investigation of atomic layer deposition processes "
DOI : 10.1063/1.4934807
Publication n°3
" Heteroepitaxy of group IV-VI nitrides by atomic layer deposition "
DOI : 10.1063/1.4831977
Contact pour le GDR RAFALD
PROSLIER Thomas