LAAS

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LAAS

Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes

CNRS

7, avenue du Colonel Roche -  BP 54200 - 31031 Toulouse Cedex 4

Site web

Activités

  • Croissance
  • PE-ALD
  • Simulations

Famille de matériaux

  • Métaux
  • Nitrures
  • Oxydes

Applications

  • Énergie
  • Micro-électronique

Réacteur(s) ALD

  • Veeco/Cambridge Nanotech

Publication n°1

" Role of Trimethylaluminum in Low Temperature Atomic Layer Deposition of Silicon Nitride "

DOI : 10.1021/acs.chemmater.7b01816

Publication n°2

" Role of Alumina Coatings for Selective and Controlled Bonding of DNA on Technologically Relevant Oxide Surfaces "

DOI : 10.1021/acs.jpcc.5b06820

Publication n°3

" Amorphous alumina thin films deposited on titanium: Interfacial chemistry and thermal oxidation barrier properties "

DOI : 10.1002/pssa.201532838

Contact pour le GDR RAFALD

ESTEVE Alain

Autres personnes impliquées