IN
Activités
- Thermal ALD
Famille de matériaux
- Oxydes
Applications
- Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..)
- Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
Réacteur(s) ALD
- Veeco/Cambridge Nanotech
Autres personnes impliquées
- CAGNON Laurent
- MOTTE Jean-François