LMGP

Laboratoire des Matériaux et du Génie Physique

CNRS, Grenoble INP, UGA

Grenoble INP-Minatec - 3 parvis Louis Néel - CS 50257 - 38016 Grenoble cedex 1

Site web

• Thermal ALD
• Caractérisation in-situ
• Spatial ALD
• Molecular Layer Deposition

• Oxydes
• Films métalliques
• Sulfures
• Matériaux hybrides

• Transition énergetique (catalyse, PV, piles à combustibles, membranes)
• Transition numérique: (écrans transparents, capteurs, micro-electronique)

• Annealsys
• Picosun
• Réacteurs "home-made" (2 SALD, 2 Thermal ALD dont un dédié aux mesures in-situ)
  

" Synthesis of In-Plane Oriented Tin Sulfides by Organosulfur-Mediated Sulfurization of Ultrathin SnO₂ Films "

DOI : 10.1021/acs.chemmater.2c00567

" Gas‐Phase 3D Printing of Functional Materials. Advanced Materials Technologies "

DOI : 10.1002/admt.202000657

" Chemical deposition of Cu2O films with ultra-low resistivity: correlation with the defect landscape "
DOI : 10.1038/s41467-022-32943-4

• JIMENEZ Carmen
• BURRIEL Monica
• DESCHANVRES Jean-Luc
• RENEVIER Hubert
• MUNOZ-ROJAS David
• CONSONNI Vincent
• WEBER Matthieu