LMGP

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LMGP

Laboratoire des Matériaux et du Génie Physique

CNRS, Grenoble INP, UGA

Grenoble INP-Minatec - 3 parvis Louis Néel - CS 50257 - 38016 Grenoble cedex 1

Site web

Activités

  • Thermal ALD
  • PE-ALD
  • Précurseurs
  • Croissance, instrumentation in-situ
  • Spatial ALD
  • Molecular Layer Deposition

Famille de matériaux

  • Oxydes
  • Films métalliques
  • Sulfures

Applications

  • Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..)
  • Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)

Réacteur(s) ALD

  • Annealsys
  • Réacteur "home-made"

Publication n°1

" In situ ellipsometry study of the early stage of ZnO atomic layer deposition on In0. 53Ga0. 47As "

DOI : 10.1002/pssa.201900831

Publication n°2

" Gas‐Phase 3D Printing of Functional Materials. Advanced Materials Technologies "

DOI : 10.1002/admt.202000657

Publication n°3

" The initial stages of ZnO atomic layer deposition on atomically flat In 0.53 Ga 0.47 As substrates "
DOI : 10.1039/C8NR02440E

Autres personnes impliquées

  • JIMENEZ Carmen
  • BURRIEL Monica
  • DESCHANVRES Jean-Luc
  • RENEVIER Hubert
  • MUNOZ-ROJAS David
  • CONSONNI Vincent
  • WEBER Matthieu