INL

LOGO du laboratoire

INL

Institut des Nanotechnologies de Lyon

CNRS / École Centrale de Lyon / INSA de Lyon / Université Claude Bernard Lyon 1

INSA de Lyon - Bâtiment Blaise Pascal - 7 avrenue Jean Capelle - 69621 Villeurbanne Cedex

Site web

Activités

  • Croissance
  • PE-ALD

Famille de matériaux

  • Métaux
  • Oxydes

Applications

  • Énergie
  • Micro-électronique

Réacteur(s) ALD

  • Veeco/Cambridge Nanotech

Publication n°1

" Al2O3 thin films deposited by thermal ALD: characterization for PV applications "

DOI : 10.1016/j.tsf.2016.02.049

Publication n°2

" Metallic nanoparticle-based strain sensors elaborated by atomic layer deposition "

DOI : 10.1063/1.4978778

Publication n°3

" Investigation of the in-plane and out-of-plane electrical properties of metallic nanoparticles in dielectric matrix thin films elaborated by atomic layer deposition "

DOI : 10.1088/1361-6528/aa8b5e

Contact pour le GDR RAFALD

BLANC-PELISSIER Danièle

Autres personnes impliquées

  • CHEVALIER Céline
  • PUYOO Etienne