CIMAP
Centre de recherche sur les Ions, les Matériaux et la Photonique
CNRS, Ensicaen, Normandie Université, CEA
Multi-sites (se référer au site web)
Activités
- Précurseurs
- Croissance, instrumentation in-situ
Famille de matériaux
- Oxydes
Applications
- Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
Réacteur(s) ALD
- Picosun
Publication n°1
" Thermally induced evolution of optical and structural properties of Er2O3 films grown on Si substrates by thermal atomic layer deposition "
Autres personnes impliquées
- LABBE Christophe
- CARDIN Julien
- FRILAY Cédric
- GOURBILLEAU Fabrice