CIMAP

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CIMAP

Centre de recherche sur les Ions, les Matériaux et la Photonique

CNRS / CEA / ENSICAEN / Université de Normandie

Multi-sites (se référer au site web)

Site web

Activités

  • Croissance

Famille de matériaux

  • Métaux
  • Oxydes

Applications

  • Énergie
  • Micro-électronique

Réacteur(s) ALD

  • Picosun

Publication n°1

" Down-shifting Si-based layer for Si solar applications "

DOI : 10.1016/j.solmat.2017.05.011

Publication n°2

" Structural and emission properties of Tb3+-doped nitrogen-rich silicon oxynitride films "

DOI : 10.1088/1361-6528/aa5ca0

Publication n°3

" Optical, structural and electrical characterizations of stacked Hf-based and silicon nitride dielectrics "

DOI : 10.1016/j.tsf.2016.04.036

Contact pour le GDR RAFALD

FRILAY C. ou GOURIBLEAU F.

Autres personnes impliquées

  • LABBE C.
  • CARDIN J.