C2N
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
CNRS, Université Paris-Saclay, Université de Paris
Palaiseau
Activités
- Thermal ALD
- PE-ALD
Famille de matériaux
- Oxydes
- Nitrures
Applications
- Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
Réacteur(s) ALD
- Veeco/Cambridge Nanotech
Publication n°1
" High Structural and Optical quality of III-V-on-Si 1nm-thick oxide-bonded Hybrid Interface "
Autres personnes impliquées
- DURNEZ Alan
- MAILLARD François
- LAFOSSE Xavier