LMI
Laboratoire des Multimatériaux et Interface
CNRS / Université Lyon 1
Domaine Scientifique de la Doua - Université Claude Bernard Lyon 1 Bâtiment Chevreul - 6 rue victor Grignard - 69622 Villeurbanne cedex, FRANCE
Activités
- Croissance
- Précurseurs
Famille de matériaux
- Oxydes
- Nitrures
- Metal organic framework
Applications
- Thermal ALD
- PE-ALD
- Croissance, instrumentation in-situ
- Area-Selective ALD
- Molecular Layer Deposition
Réacteur(s) ALD
- Réacteur "home-made"
Publication n°1
" Nanofabrication via Maskless Localized Atomic Layer Deposition of Patterned Nanoscale Metal Oxide Films "
DOI : 10.1021/acsanm.1c02550
Publication n°2
" Promising properties of ALD boron nitride nanotube mat for water purification "
DOI : 10.1039/C7EN00811B
Publication n°3
" Vapor-Phase Infiltration inside a Microporous Porphyrinic Metal–Organic Framework for Postsynthesis Modification "
Personnes impliquées
- MARICHY Catherine
- FOREL Salomé
- BRYLINSKI Christian
- Alexandra FATEEVA