IEM

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IEM

Institut Européen des Membranes

ENSCM / UM / CNRS

Université de Montpellier - Case courrier 047 - 2 Place Eugène Bataillon - 34095 Montpellier cedex 5

Site web

Activités

  • Thermal ALD
  • PE-ALD
  • Croissance, instrumentation in-situ
  • Molecular Layer Deposition

Famille de matériaux

  • Oxydes
  • Films métalliques
  • Sulfures
  • Nitrures
  • MLD (hybrides) et MOFs

Applications

  • Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..)
  • Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
  • Santé
  • Environnement (traitement de l'eau, de l'air, ..)

Réacteur(s) ALD

  • Réacteur "home-made"

Publication n°1

Atomic Layer Deposition for Membranes: Basics, Challenges and Opportunities "

DOI : 10.1021/acs.chemmater.8b02687

Publication n°2

Atomic Layer Deposition for Biosensing Applications "

DOI : 10.1016/j.bios.2018.09.038

Publication n°3

Highly Efficient Hydrogen Sensors Based on Pd Nanoparticles Supported on Boron Nitride Coated ZnO Nanowires "

DOI : v

Autres personnes impliquées

  • DROBEK Martin
  • JULBE Anne
  • BECHELANY Mikhael