IEM
Institut Européen des Membranes
ENSCM / UM / CNRS
Université de Montpellier - Case courrier 047 - 2 Place Eugène Bataillon - 34095 Montpellier cedex 5
Activités
- Thermal ALD
- PE-ALD
- Croissance, instrumentation in-situ
- Molecular Layer Deposition
Famille de matériaux
- Oxydes
- Films métalliques
- Sulfures
- Nitrures
- MLD (hybrides) et MOFs
Applications
- Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..)
- Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
- Santé
- Environnement (traitement de l'eau, de l'air, ..)
Réacteur(s) ALD
- Réacteur "home-made"
Publication n°1
" Atomic Layer Deposition for Membranes: Basics, Challenges and Opportunities "
Publication n°2
" Atomic Layer Deposition for Biosensing Applications "
Publication n°3
" Highly Efficient Hydrogen Sensors Based on Pd Nanoparticles Supported on Boron Nitride Coated ZnO Nanowires "
DOI : v
Autres personnes impliquées
- DROBEK Martin
- JULBE Anne
- BECHELANY Mikhael