CIRIMAT

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CIRIMAT

Centre Interuniversitaure de Recherche et d'Ingénieire des Matériaux

CNRS / INPT / UPS

Université Toulouse 3 - Paul Sabatier - Bâtiment CIRIMAT - 118 Route de Narbonne - 31062 Toulouse cedex 9 - France

Site web

Activités

  • Croissance
  • Simulations

Famille de matériaux

  • Métaux
  • Oxydes

Applications

  • Catalyse
  • Micro-électronique

Réacteur(s) ALD

Publication n°1

" Computational Fluid Dynamics simulation of the ALD of alumina from TMA and H2O in a commercial reactor "
DOI : https://doi.org/10.1016/j.cherd.2018.02.031

Publication n°2

" Detailed Investigation of the Surface Mechanisms in Alumina Atomic Layer Deposition from TMA and Water "
DOI : https://doi.org/10.1016/j.ces.2018.09.037

Publication n°3

" Investigation of the initial deposition steps and the interfacial layer of ALD Al2O3 on Si "

DOI : 10.2174/1874464808666150324230711

Contact pour le GDR RAFALD

VAHLAS Constantin

Autres personnes impliquées

  • DUGUET Thomas