CINAM

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CINAM

Centre interdisciplianire de Nanosciences de Marseille

Université Aix-Marseille / CNRS

Campus de Luminy - Case 913 - 13288 Marseille Cedex 9

Site web

Activités

  • Thermal ALD
  • PE-ALD
  • Croissance, instrumentation in-situ

Famille de matériaux

  • Oxydes
  • Films métalliques
  • Nitrures

Applications

  • Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..)
  • Environnement (traitement de l'eau, de l'air, ..)

Réacteur(s) ALD

  • Réacteur maison
  • Veeco/Cambridge Nanotech

Publication n°1

Quantifying the Extent of Ligand Incorporation and the Effect on Properties of TiO2 Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition Using an Alkoxide or an Alkylamide "

DOI : 10.1021/acs.chemmater.9b03621

Publication n°2

Atomic Layer Deposition of Pd Nanoparticles on TiO2 nanotubes for Ethanol Electrooxidation: Synthesis and Electrochemical Properties "

DOI : 10.1021/acsami.5b06056

Publication n°3

Protected Light-Trapping Silicon by a Simple Structuring Process for Sunlight-assisted Water Splitting "

DOI : 10.1021/acsami.6b07350

Personnes impliquées

  • SANTINACCI Lionel