CINAM
Centre interdisciplianire de Nanosciences de Marseille
Université Aix-Marseille / CNRS
Campus de Luminy - Case 913 - 13288 Marseille Cedex 9
Activités
- Thermal ALD
- PE-ALD
- Croissance, instrumentation in-situ
Famille de matériaux
- Oxydes
- Films métalliques
- Nitrures
Applications
- Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..)
- Environnement (traitement de l'eau, de l'air, ..)
Réacteur(s) ALD
- Réacteur maison
- Veeco/Cambridge Nanotech
Publication n°1
" Quantifying the Extent of Ligand Incorporation and the Effect on Properties of TiO2 Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition Using an Alkoxide or an Alkylamide "
Publication n°2
" Atomic Layer Deposition of Pd Nanoparticles on TiO2 nanotubes for Ethanol Electrooxidation: Synthesis and Electrochemical Properties "
DOI : 10.1021/acsami.5b06056
Publication n°3
" Protected Light-Trapping Silicon by a Simple Structuring Process for Sunlight-assisted Water Splitting "
DOI : 10.1021/acsami.6b07350
Personnes impliquées
- SANTINACCI Lionel