SIMaP

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SIMAP

Sciences et Ingénierie des Matériaux et Procédés

Grenoble INP / CNRS / UGA

1130 rue de la piscine - BP 75 - 38402 Saint Martin d'Hères Cedex

Site web

Activités

  • Thermal ALD
  • PE-ALD
  • Précurseurs
  • Simulations et/ou modélisation
  • Croissance, instrumentation in-situ

Famille de matériaux

  • Oxydes
  • Films métalliques
  • Nitrures

Applications

  • Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..)
  • Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
  • Santé
  • Environnement (traitement de l'eau, de l'air, ..)

Réacteur(s) ALD

  • Picosun
  • Réacteur "home-made"

Publication n°1

" Improved critical temperature of superconducting plasma-enhanced atomic layer deposition of niobium nitride thin films by thermal annealing "

DOI : 10.1016/j.tsf.2020.138232

Publication n°2

"  "

DOI : 10.1016/j.surfcoat.2021.127130

Publication n°3

" Aluminum nitride thin films deposited by hydrogen plasma enhanced and thermal atomic layer deposition "

DOI : 10.1016/j.surfcoat.2018.04.031

Autres personnes impliquées

  • BLANQUET Elisabeth
  • BOICHOT Raphaël
  • CHAUSSENDE Didier
  • CRISCI Alexandre
  • MANTOUX Arnaud
  • MERCIER Frédéric
  • NUTA Ioana
  • REBOUD Roman