Mécanismes de croissance : modélisation et caractérisations in situ
La réussite d’un procédé ALD repose largement sur la maîtrise de la chimie des interactions entre les molécules précurseurs et les surfaces de dépôt. La compréhension fine, à l’échelle atomique, des mécanismes mis en jeu lors des cycles de croissance en ALD constitue ainsi un point crucial pour la mise …