LAPLACE

LAboratoire PLAsma et Concersion d’Énergie Université d Toulouse /CNRS / INPT Multi-sites (se référer au site web) Site web Croissance Oxydes Énergie

IRCP

Institut de Recherche de Chimie Paris CNRS / Chimie Paris Tech 11 rue Pierre et Marie Curie 75005 Paris Site web Thermal ALD Oxydes Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Picosun

IMN

Institut des Matériaux Jean Rouxel CNRS / Université de Nantes Multi-sites (se référer au site web) Site web PE-ALD Précurseurs Simulations et/ou modélisation Croissance, instrumentation in-situ Atomic Layer Etching Oxydes Sulfures Nitrures Oxynitrures avec inclusions métalliques Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, …

LPICM

Laboratoires de Physique des Interfaces et des Couches Minces CNRS / École polytechnique Bâtiment 406 – Route de Saclay – 91128 Palaiseau Cedex Site web Thermal ALD Oxydes Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Picosun

LMGP

Laboratoire des Matériaux et du Génie Physique CNRS, Grenoble INP, UGA Grenoble INP-Minatec – 3 parvis Louis Néel – CS 50257 – 38016 Grenoble cedex 1 Site web Thermal ALD Caractérisation in-situ Spatial ALD Molecular Layer Deposition Oxydes Films métalliques Sulfures Matériaux hybrides Transition énergetique (catalyse, PV, piles à combustibles, …

IJL

Institut Jean Lamour Université de Lorraine / CNRS Multi-sites (se référer au site web) Site web Thermal ALD PE-ALD Croissance, instrumentation in-situ Oxydes Films métalliques Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Environnement (traitement de l’eau, de l’air, ..) Picosun

CIMAP

Centre de recherche sur les Ions, les Matériaux et la Photonique CNRS, Ensicaen, Normandie Université, CEA Multi-sites (se référer au site web) Site web Précurseurs Croissance, instrumentation in-situ Oxydes Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Picosun

LTM

Laboratoire des Technologies de la Microélectronique CNRS-CEA/LETI-UGA-Grenoble INP CEA / LETI / Minatec -17, avenue des Martyrs -38054 Grenoble cedex 9 Site web Thermal ALD PE-ALD Atomic Layer Etching Area-Selective ALD Oxydes Films métalliques Nitrures Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) FlexAL Oxford Instruments + Cambridge nanotech Fiji

GEMAC

Groupe d’Étude de la Matière Condensée CNRS / UVSQ Bâtiment Fermat – 45, avenue des Etats Unis – 78035 Versailles Cedex Site web Thermal ALD Oxydes Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) diélectriques, high-k Annealsys

INL

Institut des Nanotechnologies de Lyon CNRS, Ecole Centrale de Lyon, INSA Lyon, Université Lyon 1 et CPE Lyon Bâtiment Irène Joliot Curie -IJC 1, rue Enrico Fermi 69622 Villeurbanne Cedex – France tél. : +33 (0)4 72 43 83 29 Site web Thermal ALD PE-ALD Croissance, instrumentation in-situ Oxydes Films …