C2P2

Chimie, Catalyse, Polymères et Procédés CNRS / CPE Lyon / Université Claude Bernard – Lyon 1 43 bd du 11 novembre 1918 – 69100 Villeurbanne Site web Chimie Organométallique de surface (COMS) Croissance Précurseurs Oxydes Sulfures Mécanisme de croissance Réacteur maison

LAPLACE

LAboratoire PLAsma et Concersion d’Énergie Université d Toulouse /CNRS / INPT Multi-sites (se référer au site web) Site web Croissance Oxydes Énergie

IRCP-I2E

Institut de Recherche de Chimie Paris (équipe Interfaces, Électrochimie, Énergie) CNRS / Chimie Paris Tech 11 rue Pierre et Marie Curie 75005 Paris Site web Croissance Précurseurs Oxydes Énergie Picosun

IMN

Institut des Matériaux Jean Rouxel CNRS / Université de Nantes Multi-sites (se référer au site web) Site web Atomic Layer Etching PE-ALD PE-CVD avec gaz pulsés Nitrures Oxydes Sulfures Catalyse Énergie Micro-électronique

LPICM

Laboratoires de Physique des Interfaces et des Couches Minces CNRS / École polytechnique Bâtiment 406 – Route de SAclay – 91128 Palaiseau Cedex Site web Croissance Oxydes Énergie Picosun

LMGP

Laboratoire des Matériaux et du Génie Physique Grenoble INP / CNRS Grenoble INP-Minatec – 3 parvis Louis Néel – CS 50257 – 38016 Grenoble cedex 1 Site web Croissance PE-ALD Selective ALD Simulations Spatial ALD Hybrides Métaux Oxydes Sulfures Énergie Opto-électronique Réacteur maison

IJL

Institut Jean Lamour Université de Lorraine / CNRS Multi-sites (se référer au site web) Site web Croissance PE-ALD Métaux Oxydes Énergie Micro-électronique Picosun

CIMAP

Centre de recherche sur les Ions, les Matériaux et la Photonique CNRS / CEA / ENSICAEN / Université de Normandie Multi-sites (se référer au site web) Site web Croissance Métaux Oxydes Énergie Micro-électronique Picosun

LTM

Laboratoire des Technologies de la Microélectronique UGA / CNRS CEA / LETI / Minatec -17, avenue des Martyrs -38054 Grenoble cedex 9 Site web Atomic Layer Etching Croissance PE-ALD Métaux Nitrures Oxydes Micro-électronique Oxford

GEMAC

Groupe d’Étude de la Matière Condensée CNRS / UVSQ Bâtiment Fermat – 45, avenue des Etats Unis – 78035 Versailles Cedex Site web Croissance Oxydes Oxydes multifonctionnels Annealsys