Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne CNRS / Université Bourgogne Franche-Comté 9 Avenue Alain Savary BP 47870, 21078 Dijon Site web Thermal ALD Oxydes Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Environnement (traitement de l’eau, de l’air, ..) Annealsys
Service d’Etude du Comportement en Corrosion des Matériaux dans leur Environnement CEA Saclay Site web Thermal ALD Oxydes Films métalliques Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Beneq
Groupe de Recherche sur l’Energétique des Milieux Ionisés Université d’Orléans, CNRS Orléans Site web Atomic Layer Etching Oxydes Nitrures Si, GaN, AlGaN(il est question d’ALE pour ces réponses) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Réacteur d’ALE (Oxford Instruments)
Centre de radiofréquences, optique et micro-nanoélectronique des Alpes UGA, CNRS, Grenoble-INP, USMB Grenoble, campus Minatec Site web Caractérisation Oxydes Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Je ne possède pas de réacteur
Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques Université de Paris et CNRS Paris Site web Salle blanche généraliste en micro- et nano-fabrication Oxydes Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Je ne possède pas de réacteur (achat en cours)
Département des accélérateurs et du Cryo magnétisme CEA – ANR Saclay Site web Thermal ALD Croissance, instrumentation in-situ Oxydes Films métalliques Nitrures Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Réacteur « home-made »
Service de recherche en Corrosion et Comportement des Matériaux CEA Saclay Site web Thermal ALD Oxydes Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Beneq
Voici un site éducatif donnant accès à des cours sur l’ALD sur le site de l’université finlandaise de Aalto, uniquement en langue anglaise ou en finnois pour les plus érudits. Open Learning
Techniques de l’ingénieur portant sur les principes et applications de la technique ALD (écrit par le GDR, la version papier peut être obtenue sur demande à la direction). Techniques de l’Ingénieur ALD
Groupe de REcherche Matériaux Microélectronique Acoustique Nanotechnologies Université de Tours, CNRS, INSA-CVL Bât. E 20 avenue Monge 37200 TOURS Site web ??? Oxydes Nitrures Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Beneq
