CEA-LIDC2

Laboratoire d’intégration et de développement des cavités et des cryomodules Gouvernementales CEA PARIS-SACLAY – Etablissement de Saclay – 91191 Gif-sur-Yvette Site web Croissance Métaux Nitrures Oxydes Énergie Supraconductivité Réacteur maison

Prêt Spectromètre OES

Le GDR RAFALD a acquis début 2019 un spectromètre OES (Optical Emission Spectroscopy). L’OES est une technique de caractérisation non destructive permettant l’analyse d’un système par le biais de sa signature optique. Cet équipement peut être utilisé lors de l’analyse des espèces présentes dans le plasma des réacteurs PE-ALD, pour …

ITODYS

Interfaces Traitements Organisation et DYnamique des Systèmes CNRS, Université Paris Diderot Adresse Site web Croissance PE-ALD Spatial ALD Oxydes Catalyse Énergie Pas de réacteur actuellement

CEA-INES

Commissariat de L’Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives – Institut Nationale de L’Énergie Solaire   50 avenue du Lac Léman – F-73375 Le Bourget-du-Lac Site web Croissance Oxydes Énergie Beneq

IPVF

Institut Photovoltaïque d’Ile-de-France CNRS / IPVF / Ecole Polytechnique / Chimie Paris Tech PSL / EDF / Total / Air Liquide 30, Route départementale 128 – 91120 Palaiseau Site web Croissance PE-ALD Précurseurs Simulations Oxydes Sulfures Énergie ASM Microchemistry Beneq Picosun

MRT

Materials Research and Technology LIST Maison de l’innovation – 5, Avenue des Hauts-Fourneaux – L-4362 Esch-sur-Alzette Site web Croissance PE-ALD Métaux Nitrures Oxydes Catalyse Énergie Micro-électronique Réacteur maison Annealsys Beneq

IRCELYON

Institut de Recheches sur la Catalyse et l’Environnement de Lyon CNRS / Université Lyon 1 2 avenue Albert Einstein – 69626 Villeurbanne Cedex Site web Précurseurs Nitrures Oxydes Catalyse Énergie

IN

Institut Néel CNRS / UGA 25 rue des Martyrs – BP 166 – 38042 Grenoble cedex 9 Site web Croissance Oxydes Énergie Micro-électronique Veeco/Cambridge Nanotech

LAAS

Laboratoire d’Analyse et d’Architecture des Systèmes CNRS 7, avenue du Colonel Roche –  BP 54200 – 31031 Toulouse Cedex 4 Site web Croissance PE-ALD Simulations Métaux Nitrures Oxydes Énergie Micro-électronique Veeco/Cambridge Nanotech