Prêt Spectromètre OES

Le GDR RAFALD a acquis début 2019 un spectromètre OES (Optical Emission Spectroscopy). L’OES est une technique de caractérisation non destructive permettant l’analyse d’un système par le biais de sa signature optique. Cet équipement peut être utilisé lors de l’analyse des espèces présentes dans le plasma des réacteurs PE-ALD, pour …