Luxembourg Institute of Science and Technology Ministère de l’Enseignement supérieur et de la Recherche Maison de l’innovation – 5, Avenue des Hauts-Fourneaux – L-4362 Esch-sur-Alzette Site web Thermal ALD PE-ALD Croissance, instrumentation in-situ Molecular Layer Deposition Oxydes Films métalliques Sulfures Nitrures Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, …
Catalyse, Polymérisation, Procédés et matériaux CNRS / Université Lyon 1 43 Boulevard du 11novembre 1918 – 69616 Villeurbanne Cedex Site web Précurseurs Oxydes Sulfures Nitrures Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Environnement (traitement de l’eau, de l’air, ..) Je ne possède pas de réacteur
Institut Néel CNRS / UGA 25 rue des Martyrs – BP 166 – 38042 Grenoble cedex 9 Site web Thermal ALD Oxydes Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Veeco/Cambridge Nanotech
Laboratoire d’Analyse et d’Architecture des Systèmes CNRS 7, avenue du Colonel Roche – BP 54200 – 31031 Toulouse Cedex 4 Site web Thermal ALD PE-ALD Oxydes Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Photonique (encapsulation, etchstop, etchmask, ….) Veeco/Cambridge Nanotech Sentech Beneq
Chimie, Catalyse, Polymères et Procédés CNRS / CPE Lyon / Université Claude Bernard – Lyon 1 43 bd du 11 novembre 1918 – 69100 Villeurbanne Site web Chimie Organométallique de surface (COMS) Croissance Précurseurs Oxydes Sulfures Mécanisme de croissance Réacteur maison
LAboratoire PLAsma et Concersion d’Énergie Université d Toulouse /CNRS / INPT Multi-sites (se référer au site web) Site web Croissance Oxydes Énergie
Institut de Recherche de Chimie Paris CNRS / Chimie Paris Tech 11 rue Pierre et Marie Curie 75005 Paris Site web Thermal ALD Oxydes Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Picosun
Institut des Matériaux Jean Rouxel CNRS / Université de Nantes Multi-sites (se référer au site web) Site web PE-ALD Précurseurs Simulations et/ou modélisation Croissance, instrumentation in-situ Atomic Layer Etching Oxydes Sulfures Nitrures Oxynitrures avec inclusions métalliques Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, …
Laboratoires de Physique des Interfaces et des Couches Minces CNRS / École polytechnique Bâtiment 406 – Route de Saclay – 91128 Palaiseau Cedex Site web Thermal ALD Oxydes Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Picosun
Laboratoire des Matériaux et du Génie Physique CNRS, Grenoble INP, UGA Grenoble INP-Minatec – 3 parvis Louis Néel – CS 50257 – 38016 Grenoble cedex 1 Site web Thermal ALD Caractérisation in-situ Spatial ALD Molecular Layer Deposition Oxydes Films métalliques Sulfures Matériaux hybrides Transition énergetique (catalyse, PV, piles à combustibles, …
