GREMAN

Groupe de REcherche Matériaux Microélectronique Acoustique Nanotechnologie Université de Tours, CNRS, INSA-CVL Bât. E 20 avenue Monge 37200 TOURS Site web Croissance Métaux Oxydes Micro-électronique Beneq

CEA-LIDC2

Laboratoire d’intégration et de développement des cavités et des cryomodules Gouvernementales CEA PARIS-SACLAY – Etablissement de Saclay – 91191 Gif-sur-Yvette Site web Croissance Métaux Nitrures Oxydes Énergie Supraconductivité Réacteur maison

ITODYS

Interfaces Traitements Organisation et DYnamique des Systèmes CNRS, Université Paris Diderot Adresse Site web Croissance PE-ALD Spatial ALD Oxydes Catalyse Énergie Pas de réacteur actuellement

CEA-INES

Commissariat de L’Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives – Institut Nationale de L’Énergie Solaire   50 avenue du Lac Léman – F-73375 Le Bourget-du-Lac Site web Croissance Oxydes Énergie Beneq

IPVF

Institut Photovoltaïque d’Ile-de-France CNRS / IPVF / Ecole Polytechnique / Chimie Paris Tech PSL / EDF / Total / Air Liquide 30, Route départementale 128 – 91120 Palaiseau Site web Croissance PE-ALD Précurseurs Simulations Oxydes Sulfures Énergie ASM Microchemistry Beneq Picosun

MRT

Materials Research and Technology LIST Maison de l’innovation – 5, Avenue des Hauts-Fourneaux – L-4362 Esch-sur-Alzette Site web Croissance PE-ALD Métaux Nitrures Oxydes Catalyse Énergie Micro-électronique Réacteur maison Annealsys Beneq

IRCELYON

Institut de Recheches sur la Catalyse et l’Environnement de Lyon CNRS / Université Lyon 1 2 avenue Albert Einstein – 69626 Villeurbanne Cedex Site web Précurseurs Nitrures Oxydes Catalyse Énergie

IN

Institut Néel CNRS / UGA 25 rue des Martyrs – BP 166 – 38042 Grenoble cedex 9 Site web Croissance Oxydes Énergie Micro-électronique Veeco/Cambridge Nanotech

LAAS

Laboratoire d’Analyse et d’Architecture des Systèmes CNRS 7, avenue du Colonel Roche –  BP 54200 – 31031 Toulouse Cedex 4 Site web Croissance PE-ALD Simulations Métaux Nitrures Oxydes Énergie Micro-électronique Veeco/Cambridge Nanotech

C2P2

Chimie, Catalyse, Polymères et Procédés CNRS / CPE Lyon / Université Claude Bernard – Lyon 1 43 bd du 11 novembre 1918 – 69100 Villeurbanne Site web Chimie Organométallique de surface (COMS) Croissance Précurseurs Oxydes Sulfures Mécanisme de croissance Réacteur maison