Laboratoire des Multimatériaux et Interface CNRS / Université Lyon 1 Domaine Scientifique de la Doua – Université Claude Bernard Lyon 1 Bâtiment Chevreul – 6 rue victor Grignard – 69622 Villeurbanne cedex, FRANCE Site web Croissance Précurseurs Oxydes Nitrures Metal organic framework Thermal ALD PE-ALD Croissance, instrumentation in-situ Area-Selective …
Laboratoire de Génie Chimique Institut National Polytechnique de Toulouse Multi-sites (se référer au site web) Site web Thermal ALD Simulations et/ou modélisation Oxydes Barrière à l’oxydation à haute température Modular Flow
Institut Européen des Membranes ENSCM / UM / CNRS Université de Montpellier – Case courrier 047 – 2 Place Eugène Bataillon – 34095 Montpellier cedex 5 Site web Thermal ALD PE-ALD Croissance, instrumentation in-situ Molecular Layer Deposition Oxydes Films métalliques Sulfures Nitrures MLD (hybrides) et MOFs Transition énergetique (catalyse, PV, …
Centre interdisciplianire de Nanosciences de Marseille Université Aix-Marseille / CNRS Campus de Luminy – Case 913 – 13288 Marseille Cedex 9 Site web Thermal ALD PE-ALD Croissance, instrumentation in-situ Oxydes Films métalliques Nitrures Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Environnement (traitement de l’eau, de l’air, ..)
Sciences et Ingénierie des Matériaux et Procédés Grenoble INP / CNRS / UGA 1130 rue de la piscine – BP 75 – 38402 Saint Martin d’Hères Cedex Site web Thermal ALD PE-ALD Précurseurs Simulations et/ou modélisation Croissance, instrumentation in-situ Oxydes Films métalliques Nitrures Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à …
