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Commisariat à l'énergie nucléaire et alternative

CEA

Grenoble

Site web

Activités

  • Thermal ALD

Famille de matériaux

  • Oxydes
  • Nitrures

Applications

  • Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)

Réacteur(s) ALD

  • ASM Microchemistry
  • Picosun
  • Veeco/Cambridge Nanotech

Personnes impliquées

  • LEFEVRE Aude