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Luxembourg Institute of Science and Technology

Ministère de l'Enseignement supérieur et de la Recherche

Maison de l'innovation - 5, Avenue des Hauts-Fourneaux - L-4362 Esch-sur-Alzette

Site web

Activités

  • Thermal ALD
  • PE-ALD
  • Croissance, instrumentation in-situ
  • Molecular Layer Deposition

Famille de matériaux

 

  • Oxydes
  • Films métalliques
  • Sulfures
  • Nitrures

Applications

  • Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..)
  • Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
  • Environnement (traitement de l'eau, de l'air, ..)

Réacteur(s) ALD

  • Annealsys
  • Beneq
  • Picosun
  • Réacteur "home-made"

Publication n°1

" CNT-TiO2 core-shell structure: synthesis and photoelectrochemical characterization "

DOI : 10.1039/d1ra05723e

Publication n°2

" CNT nanoengineering for thermally stable selective solar absorption "

DOI : 10.1016/j.mtcomm.2021.102552

Publication n°3

" Large-Scale Deposition and Growth Mechanism of Silver Nanoparticles by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition "

DOI : 10.1021/acs.jpcc.9b06473

Personnes impliquées

  • BAHlAWANE Naoufal