INL

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INL

Institut des Nanotechnologies de Lyon

CNRS

INSA de Lyon - Bâtiment Blaise Pascal - 7 avrenue Jean Capelle - 69621 Villeurbanne Cedex

Site web

Activités

  • Thermal ALD
  • PE-ALD
  • Croissance, instrumentation in-situ

Famille de matériaux

  • Oxydes
  • Films métalliques

Applications

  • Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..)
  • Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
  • Santé

Réacteur(s) ALD

  • Réacteur "home-made"
  • Veeco/Cambridge Nanotech

Autres personnes impliquées

  • CHEVALIER Céline