INL
Institut des Nanotechnologies de Lyon
CNRS
INSA de Lyon - Bâtiment Blaise Pascal - 7 avrenue Jean Capelle - 69621 Villeurbanne Cedex
Activités
- Thermal ALD
- PE-ALD
- Croissance, instrumentation in-situ
Famille de matériaux
- Oxydes
- Films métalliques
Applications
- Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..)
- Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
- Santé
Réacteur(s) ALD
- Réacteur "home-made"
- Veeco/Cambridge Nanotech
Autres personnes impliquées
- CHEVALIER Céline