GEMAC
Groupe d’Étude de la Matière Condensée
CNRS / UVSQ
Bâtiment Fermat - 45, avenue des Etats Unis - 78035 Versailles Cedex
Activités
- Thermal ALD
Famille de matériaux
- Oxydes
Applications
- Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, ...)
-
diélectriques, high-k
Réacteur(s) ALD
- Annealsys
Autres personnes impliquées
- BERINI Bruno
- DUMONT Yves
- SALLET Vincent
- SARTEL Corinne