SIMaP

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SIMAP

Sciences et Ingénierie des Matériaux et Procédés

Grenoble INP / CNRS / UGA

1130 rue de la piscine - BP 75 - 38402 Saint Martin d'Hères Cedex

Site web

Activités

  • Croissance
  • PE-ALD
  • Précurseurs
  • Simulations

Famille de matériaux

  • Métaux
  • Nitrures
  • Oxydes

Applications

  • Énergie
  • Micro-électronique
  • Supraconductivité

Réacteur(s) ALD

  • Réacteur maison
  • Picosun

Publication n°1

Developments of TaN ALD Process for 3D Conformal Coatings "

DOI : 10.1002/cvde.201100045

Publication n°2

Elaboration of Ta2O5 Thin Films Using Electrostatic Spray Deposition for Microelectronic Applications "

DOI : 10.1021/jp0676585

Publication n°3

Undoped TiO2 and nitrogen-doped TiO2 thin films deposited by atomic layer deposition on planar and architectured surfaces for photovoltaic applications "

DOI : 10.1116/1.4904025

Contact pour le GDR RAFALD

MANTOUX Arnaud

Autres personnes impliquées

  • BLANQUET Elisabeth
  • BOICHOT Raphaël
  • CRISCI Alexandre
  • REBOUD Roman