LPENS
Laboratoire de Physique de l’Ecole Normale Supérieure ENS Paris-PSL/CNRS/Sorbonne Université/Université de Paris 24 rue Lhomond, 75005 Paris Site web Thermal ALD Oxydes Recherche Anric Technologies
ICGM
Institut Charles Gerhardt Montpellier CNRS – UM – ENSCM 1919 route de Mende 34293 Montpellier Cedex 5 Site web Thermal ALD Oxydes Films métalliques Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Arradiance
Databases
Deux bases de données sur l’ALD et l’ALE, recensant les différents procédés de manière non exhaustive. Classement par éléments. ALD database ALE database Base de données avec un focus PE-ALD www.plasma-ald.com
Sites dédiés et Blogs
Une liste, non exhaustive, de sites et blogs en rapport avec l’ALD : Atomic limits BALD Engineering Plasma ALD Atomic Layer Deposition
IIRCELYON
Institut de recherches sur la catalyse et l’environnement CNRS, Université Claude Bernard – Lyon 1 Villeurbanne Site web Précurseurs Croissance, instrumentation in-situ Molecular Layer Deposition Sulfures Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Réacteur « home-made »
NIMBE – LEDNA
NIMBE – LEDNA CEA, CNRS Saclay Site web collaboration avec différents laboratoires équipés en ALD Oxydes Films métalliques Nitrures Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Je ne possède pas de réacteur
CEA
Commisariat à l’énergie nucléaire et alternative CEA Grenoble Site web Thermal ALD Oxydes Nitrures Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) ASM Microchemistry Picosun Veeco/Cambridge Nanotech
CEA-LETI
Laboratoire d’électronique et de technologie de l’information CEA Grenoble Site web Thermal ALD PE-ALD Croissance, instrumentation in-situ Oxydes Films métalliques Sulfures Nitrures Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Santé ASM Microchemistry Beneq Picosun Veeco/Cambridge Nanotech
IEMN
Institut d’Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie CNRS, université de Lille, UPHF, Junia, Centrale Lille Institut Villeneuve d’Ascq Site web Thermal ALD PE-ALD Oxydes Films métalliques Nitrures Composés lithiés Transition énergetique (catalyse, PV, batteries, piles à combustibles, nucléaire, ..) Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Picosun
FEMTO-ST
Institut FEMTO-ST CNRS, UBFC Besançon Site web Croissance, instrumentation in-situ Oxydes Transition numérique: (écrans, capteurs, micro-electronique, Qubits, …) Annealsys