Blogs and websites
A non-exhaustive list of blogs and websites related to ALD : Atomic limits BALD Engineering Plasma ALD AtomicLayerDeposition
Databases
Two databases on ALD and ALE , listing different processes in a non-exhaustive way. Classified by elements. ALD database ALE database Database focusing on plasma enhanced atomic layer deposition www.plasma-ald.com
ALD lessons
Here is an educational site giving access to courses on the ALD on the site of the Finnish University of Aalto, only in English or Finnish for the most learned. Open Learning
OES spectrometer
Le GDR RAFALD a acquis début 2019 un spectromètre OES (Optical Emission Spectroscopy). L’OES est une technique de caractérisation non destructive permettant l’analyse d’un système par le biais de sa signature optique. Cet équipement peut être utilisé lors de l’analyse des espèces présentes dans le plasma des réacteurs PE-ALD, pour …
Engineer Technics (Techniques de l’Ingénieur, publication in French language)
Engineer techniques related to the principles and applications of the ALD technique (written by the GDR, the paper version can be obtained on request from management). Engineer Technics (French version only)